LÁMINAS DELGADAS Y MICROELECTRÓNICA

UNIVERSIDAD COMPLUTENSE          FACULTAD DE CIENCIAS FÍSICAS          DPTO. FÍSICA APLICADA III

 

MIEMBROS

MEDIOS MATERIALES

LÍNEAS DE INVESTIGACIÓN

ACTIVIDAD CIENTÍFICA

COLABORACIONES

 

 

NOVEDADES

1. Equipos adscritos a la sala de implantación

El antiguo, CAI de Implantación Iónica, ahora de Técnicas Físicas, mantiene una relación histórica con el Dpto. de Física Aplicada III. Nace como un laboratorio de Implantación, convirtiéndose en poco tiempo en un Centro de Asistencia a la Investigación con la finalidad de prestar servicio tanto al ámbito universitario como a la empresa.

Actualmente está dotado de un equipamiento distribuido entre la Sala de Implantación, ubicada en el sótano de la Facultad de Ciencias Físicas, y la Sala Blanca (Sala de 80 metros cuadrados de clase 100.000 y litografía con clase 100) que se encuentra en las dependencias del Dpto. de Física Aplicada III (tercera planta, módulo Este de dicha Facultad).
 

 

EQUIPOS UBICADOS EN LA SALA DE IMPLANTACIÓN

* Implantador Iónico
* Sistema de recocido rápido de alta temperatura (RTA) MPT-600
* Sistema de recocido rápido de alta temperatura ADDAX
 

EQUIPOS UBICADOS EN LA SALA BLANCA

* Sistema de depósito ECR-CVD
* Sistema de evaporación por haz de electrones
* Sistema de litografía óptica
* Sistema de pulverización catódica de alta presión


 
  EQUIPOS UBICADOS EN LA SALA DE IMPLANTACIÓN
* Implantador Iónico.
 
 

* Sistema de recocido rápido de alta temperatura MPT-600      

Recocido rápido de activación de semiconductores III-V o materiales que no tengan contaminación cruzada con estos semiconductores. Portasustratos de Si

 

* Sistema de recocido rápido de alta temperatura ADDAX   

Recocido rápido de activación de semiconductores para Si. Posibilidad de alcanzar 1200 ºC y mantener esta temperatura durante 2 minutos.

 

EQUIPOS UBICADOS EN LA SALA BLANCA

* Sistema de depósito ECR-CVD        
 

Sistema de depósito de capas dieléctricas.

Basado en un generador ASTEX 4500, que permite depositar capas de óxidos, nitruros  y oxinitruros de Si con buenas características a bajas temperaturas (<300 ºC).

Sistema bien caracterizado en cuanto a la consecución de capas estequimétricas y de buenas propiedades como aislantes, así como para obtener la mínima densidad de estados interfaciales entre el semiconductor y el aislante. Estas capas pueden ser usadas como pasivante o bien como aislante de puerta en dispositivos MISFET.

* Sistema de evaporación por haz de electrones      
 

Cañón de electrones con 4 Kw. Posibilidad de seleccionar 4 materiales diferentes durante el mismo proceso. Control del proceso por ordenador. Dispone de cámara de transferencia.

* Sistema de litografía óptica         
 

Alineador de máscaras MJB3 de Karl Suss para ultravioletas (400 nm) con posibilidad de vacío entre la oblea y la máscara, "spinner" Headway y estufas. Tamaño máximo de muestra 3"x 3". Tamaño máximo de la máscara 4"x 4". Resolución de 0,8 micras (habiendo obtenido excelentes resultados a 1 micra)

2. Otros equipos del grupo

* Sistema de pulverización catódica de alta presión     

 
 

* Sistema de pulverización catódica de alta presión para depositar a-Si:H a temperatura ambiente.

 


3. Equipos de caracterización            

* Sistema de medida de fotoconductividad espectral a temperatura variable de semiconductores

El Equipo dispone de un monocromador Bentham, TMC 300 V con rango de medida de  1 μm a 13 μm,  un criostato de diseño propio de nitrógeno líquido y un criostato de ciclo cerrado de helio Janis


 

* Estación de puntas Everbeing 150 para medida de características eléctricas en condiciones de muy bajo ruido de todo tipo de muestras

El sistema esta acoplado a un analizador de impedancias Agilent 4294A y a un sistema de caracterización de semiconductores Keithley 4200

 

* Elipsómetro Gaertner LSE-NS para medida de índice de refracción a   λ = 632 nm

 

* Estación de cuatro puntas Advanced Instruments para medida de resistividad
de obleas de hasta 8 pulgadas de diámetro

 

* Analizador de perfiles óptico Wyko NT 1100 instalado en mesa antivibraciones